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                                質量流量控制器

                                質量流量控制器

                                產品型號: G100C

                                所屬分類:G100C質量流量控制器

                                更新時間:2023-04-14

                                瀏覽次數:2524

                                簡要描述:具有高精度、高分辨率、高重復性和高可靠性等特點。產品內置多種氣體和混合氣體。

                                詳細說明:

                                G100C質量流量控制器特點

                                高精度、高分辨率控制

                                DC 9-36V寬電壓供電

                                低功率,功率<2W

                                集成40種基礎氣體種類

                                可自定義10種混合氣體

                                控制參數自整定功能

                                數字化控制,RS-485 Modbus RTU通信模式

                                寬流量量程范圍

                                無需預熱

                                無安裝方向限制

                                具有高重復性和高可靠性

                                采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快

                                自帶溫度補償,補償范圍0-50

                                內部閉環控制,具有高穩定性

                                小封裝尺寸

                                 

                                量程及精度簡介

                                可用量程:

                                最大0-20slpm

                                最小0-10sccm

                                常備量程請參考選型表

                                量程比:100:1

                                滿量程精度:±0.5%

                                讀取精度:±1%

                                可重復性:±0.5%FS

                                響應時間:<100ms(調節PID控制參數可縮短響應時間)

                                 

                                數字式設計簡介

                                G100C系列質量流量控制器標配高精度傳感器和數字電路,數字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用標準的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485總線最高可擴展至255臺設備同時使用。

                                 

                                應用領域

                                氣相和液相色譜儀

                                半導體工藝

                                環境監測設備

                                微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD

                                氣體發生器

                                配氣混氣系統


                                 





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