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                                質量流量控制器

                                質量流量控制器

                                產品型號: G300C

                                所屬分類:G300C質量流量控制器

                                更新時間:2023-06-27

                                瀏覽次數:2523

                                簡要描述:G300系列產品采用層流壓差法測量流量,具有高精度、高分辨率、高重復性和高可靠性等特點。產品內置多種氣體和混合氣體,采用模擬數字等多種控制方式。

                                詳細說明:

                                G300C 質量流量控制器特點 

                                ? 高精度、高分辨率控制 

                                ? 低功率,功率<2W 

                                ? 集成 20 種基礎氣體種類 

                                ? 可自定義 10 種混合氣體

                                ? 控制參數自整定功能 

                                ? 數字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式

                                ? 寬流量量程范圍 

                                ? 無需預熱

                                ? 無安裝方向限制 

                                ? 具有高重復性和高可靠性 

                                ? 采用電磁比例閥,使用壽命長,響應速度快 

                                ? 自帶溫度補償,補償范圍 0-50℃ 

                                ? 內部閉環控制,具有高穩定性

                                ? 小封裝尺寸 量程及精度簡介 

                                ? 可用量程: 

                                ? 最大 0-50slpm 

                                ? 最小 0-1sccm 

                                ? 常備量程請參考選型表 

                                ? 量程比:1000:1 

                                ? 滿量程精度:±0.2% 

                                ? 讀取精度:±0.8% 

                                ? 可重復性:±0.2%FS

                                ? 響應時間:<100ms(調節 PID 控制參數可縮 短響應時間) 

                                數字式設計簡介 G300C 系列質量流量控制器標配高精度傳 感器和數字電路,數字電路可完成測量及控制所 需的所有基本功能。G300C 系列采用標準的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高 可擴展至 255 臺設備同時使用。 

                                應用領域 

                                ? 氣相和液相色譜儀 

                                ? 半導體工藝 

                                ? 環境監測設備 

                                ? 微反應裝置及材料制備實驗裝置(CVD) 

                                ? 氣體發生器

                                ? 配氣混氣系統



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